Список літератури. 2. Аваев Н.А. Основы микроэлектроники / Н.А

 

1. Прищепа М.М.. Погребняк В.П. Мікроелектроніка. -Частина 1. Елементи мікроелектроніки - Київ: Вища школа, 2004. - 432 с.

2. Аваев Н.А. Основы микроэлектроники / Н.А. Аваев, Ю.Е. Наумов, В.Т. Фролкин. – М.: Радио и связь, 1991.–288 с.

Заняття 5. Елементи гібридних інтегральних мікросхем

 

Методичні вказівки. При розв’язуванні задач використовують такі поняття і співвідношення:

1) опір тонкоплівкової резистивної смужки для однорідної за тов­щиною резистивної плівки визначається за формулою

де ρ - питомий опір матеріалу плівки; d -товщина плівки; l, b -дов­жина і ширина резистивної смужки; R¢ = ρ /d -опір квадрата резистивної плівки, Ом/; k _ф = l / b - коефіцієнт форми або число квадратів резистивної смужки;

2) ємність плоского плівкового конденсатора визначають за формулою:

де e - діелектрична проникність матеріалу діелектрика; d - товщина ді­електрика (0, 2-0, 3 мкм); S - площа перекриття обкладинок; С ₀ = (ee₀/ d) - питома ємність діелектрика; С_P - питома периметрична ємність, спри­чинена крайовим ефектом; Р - периметр перекриття обкладинок;

3) індуктивність плоскої спіралі круглої форми розраховують за фор­мулою

, а індуктивність плоскої спіралі квадратної форми - за формулою

де D ₁, D ₂ - внутрішній та зовнішній діаметри спіралі, мм; W - число витків (індуктивність L вимірюється в нГн).

Індуктивність плоского прямокутного провідника розраховують за формулою

 

,

 

де L -індуктивність, нГн; l, b, d -відповідно довжина, ширина і товщи­на прямокутного провідника, мм.

Індуктивність круглого витка обчислюють за формулою

,

 

де L -індуктивність, нГн; l, b, d -відповідно периметр, ширина і товщи­на провідника витка, мм.

Індуктивність квадратного витка визначають за формулою

,

 

де L - індуктивність, нГн; l, b, d -відповідно сторона квадрата, ширина і товщина провідника витка, мм.

Відрізок циліндричного провідника може також використовуватись як індуктивний елемент ІМС, його індуктивність розраховують за фор­мулою

 

,

 

де L -індуктивність, нГн; l, d, -відповідно довжина і діаметр провідни­ка, мм.