Преимущество метода: высокая точность измерений связанная с использованием когерентного излучения лазера и не внесением возмущения в плазму.Методы определения параметров процессов обработки поверхности. Определение момента начала и окончания травления поверхности по параметрам плазмы Методами диагностики можно определить химический состав плазмы. С помощью эмиссионной и масс-спектроскопии можно определить наличие ионов, молекул, ион-радикалов их концентрацию. Большой интерес представляет определение момента окончания процессов обработки материалов. Так окончание момента травления поверхности можно определить, снимая эмиссионный спектр плазмы в течение процесса травления, для чего необходимо измерять процесса обработки. Начало процесса укажет пересечение линий резкого увеличение интенсивности линии материала поверхности травления (Al) и снижения линии элемента травителя (Cl2) окончание процесса травления укажет резкое снижение интенсивности линии Al до величины перед началом травления и пересечение с линией (Cl2). С помощью масс-спектроскопии можно определить наличие продуктов травления и таким образом контролировать правильность процесса травления.
Рис. 15. Изменение эмиссионных линий при травлении Al в смеси BU2, CHCl3 и He. Начало травления – резкое возрастание линии Al и резкое падение линии Cl2.
|
