Если в плазму инертного газа добавить хладон (CF4), при выполнении условий уравнения непрерывности, будет протекать процесс образования и исчезновения ХАЧ.В плазме происходят процессы диссоциации и ионизации молекул, приводящих к образованию ХАЧ:
Более вероятны реакции (39), (40), как имеющие меньшие энергии активации. Энергетически выгоднее реакция (40), так как у фтора больше сродство к электрону. Однако реакция (40) имеет продолжение:. В итоге, в плазме происходит образование свободных радикалов фтора (F•) и фторуглерода (C). Эти частицы являются основными ХАЧ в плазме CF4. Процесс рекомбинации, при котором происходит исчезновение ХАЧ, протекает при реакции:
Здесь П – поверхность твердого тела.
Здесь M – другая частица плазмы (обычно CF4). Кроме этого в плазме протекают реакции с образованием свободных радикалов разной валентности:
Доставка энергетических и химически активных частиц к поверхности обрабатываемого материала Условия протекания гетерогенной химической реакции с учетом ХАЧ: - обеспечение достаточной концентрации ХАЧ; - непрерывная доставка ХАЧ к поверхности; Непрерывный отвод продуктов реакции от поверхности. При характерном размере реактора длины свободного пробега молекул ХАЧ – доставка посредством молекулярного потока. При посредством диффузионного потока.
Где - константа скорости химической реакции.
|
(38)
(39)
(40)
(гетерогенная реакция)
(гомогенная реакция)
(41)
