Порядок виконання роботи. 1. Підготувати вакуумну установку, вимірювальну апаратуру, закріпити термопару на тому боці підкладки
1. Підготувати вакуумну установку, вимірювальну апаратуру, закріпити термопару на тому боці підкладки, на якому буде осаджуватися плівка. 2. Одержати необхідний вакуум (~ 10-3 Па) і провести серію вимірювань величини залежно від часу конденсації. 3. Провести обчислення S, Sc та S т і побудувати залежність S(d).
Таблиця 1 – Фізичні та механічні властивості деяких металів та матеріалів при К
Контрольні запитання 1. Дати пояснення термінам макронапруження, структурні та термічні макронапруження. 2. Як класифікуються макронапруження, який знак вони мають? 3. Яка причина макронапружень структурного та термічного походження? 4. Як впливають параметри конденсації та термообробка на величину макронапружень? 5. Вивести співвідношення (2). 6. У чому полягає суть методики Стонні?
|